ΠΠΎΠΏΡΠΎΡ ΠΎ ΡΠΎΠΌ, ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠΊ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°ΠΌΡΠΌ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΈΠΌ Π² ΠΌΠΈΡΠ΅, ΡΠ°ΡΡΠΎ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠΏΠΎΡΡ ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΎΠ². ΠΡΠ²Π΅Ρ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠ°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌ Π»ΠΈ ΠΌΡ ΡΠ΅ΡΠΈΠΉΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠΎΡΠΈΠΏΡ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ Π² Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠΊΠ·Π΅ΠΌΠΏΠ»ΡΡΠ΅. Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π»ΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ, ΡΡΠΎ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π³ΡΠ΅Π³Π°ΡΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°ΡΡ Π±ΡΠ΄ΠΆΠ΅Ρ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΡΠΈΡΡΠΈΡ.
ΠΡΠ»ΠΈ Π³ΠΎΠ²ΠΎΡΠΈΡΡ ΠΎ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅, ΡΠΎ Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡΡΠ½ΡΠΌ Π»ΠΈΠ΄Π΅ΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ASML NXE:3400C, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΠΈΠΉΡΡ Π΄Π»Ρ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΈΠΏΠΎΠ². ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π² ΠΌΠΈΡΠ΅ ΡΡΠΆΠ΅Π»ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΈ Π³ΠΈΠ³Π°Π½ΡΡ, ΡΡΡ ΡΠ΅Π½Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΡΡΠΈΡΠ»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ»Π»Π°ΡΠΎΠ². ΠΠ°Π²Π°ΠΉΡΠ΅ ΡΠ°Π·Π±Π΅ΡΠ΅ΠΌΡΡ Π² Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΡΡ ΡΡΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ΄Π΅Ρ.
Π¦Π΅Π½Π° ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΈΠ· ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΈΠ· ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΡΠΎΠ², ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ Π·Π°ΡΡΠ°Ρ Π½Π° ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ. ΠΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° ΡΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ Π΄ΠΈΠΊΡΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»Π° ΠΈΠ³ΡΡ, ΡΡΠ΅Π±ΡΡ Π½Π΅Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ Π»ΠΈΡΡ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½Ρ Π½Π° ΠΏΠ»Π°Π½Π΅ΡΠ΅.
Π Π΅ΠΊΠΎΡΠ΄ΡΠΌΠ΅Π½ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅: ASML NXE
ΠΠ΅Π·ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ ΠΊΠΎΡΠΎΠ»Π΅ΠΌ ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ ΠΏΠΎ ΠΏΡΠ°Π²Ρ ΡΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ EUV-Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°Ρ ΠΎΡ Π³ΠΎΠ»Π»Π°Π½Π΄ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ ASML. ΠΡΠΎ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΡΡΠΎΠΈΡ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 150-170 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ»Π»Π°ΡΠΎΠ² Π‘Π¨Π. ΠΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½Π°Ρ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ° β ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ² Ρ Π½ΠΎΡΠΌΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 7 Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ².
Π£Π½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½Ρ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΠ°. Π ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ², Π·Π΄Π΅ΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ. ΠΠ»Ρ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²Π½ΡΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ° ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ, Π½Π°ΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°ΡΡΠΈΠΉ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠΉ ΡΡΠΎΡΠΌ: ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈ ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Ρ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°ΡΠ΄ΠΈΡΡΡΡΡΡ ΠΌΠΎΡΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΠΌΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ°ΠΌΠΈ 50 000 ΡΠ°Π· Π² ΡΠ΅ΠΊΡΠ½Π΄Ρ.
Π’ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠ»Π°, Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ Π·Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π», ΠΏΠΎΡΠ°ΠΆΠ°Π΅Ρ Π²ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅. ΠΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠΊ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ ΡΡΡΠ±ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ, ΡΠΎ ΠΏΠΎΠ³ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΠΌΠ° Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°. ΠΠΈ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠΊ Π² ΠΈΡΡΠΎΡΠΈΠΈ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π½Π΅ ΡΡΠΎΠΈΠ» ΡΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄Π΅Π½Π΅Π³ Π·Π° Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΡ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΈΠΈ.
ΠΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΠΌΠΈ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ ASML. ΠΠ½ΠΈ Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ°ΡΡ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠΎΠ² ΡΡΡΠΊ Π² Π³ΠΎΠ΄, ΠΈ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ Π½Π° ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΠΈΡΠ°Π½Π° Π½Π° Π³ΠΎΠ΄Ρ Π²ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄. ΠΡΡΠΏΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΡΠΈΠΏΠΎΠ², ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ TSMC ΠΈ Samsung, Π³ΠΎΡΠΎΠ²Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΠΈΡΡ Π»ΡΠ±ΡΠ΅ ΡΡΠΌΠΌΡ Π·Π° ΠΏΡΠΈΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΠΊΠΈ.
Π’ΡΠΆΠ΅Π»ΠΎΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅: Π³ΠΈΠ³Π°Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ
ΠΡΠ»ΠΈ ΠΎΡΠΎΠΉΡΠΈ ΠΎΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΊ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΠΌΠΈΡΡ, ΠΌΡ ΡΡΠΎΠ»ΠΊΠ½Π΅ΠΌΡΡ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ Π»ΠΈΠ΄Π΅ΡΠ°ΠΌΠΈ. Π ΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΡΠ°ΠΌΡΠΌΠΈ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΏΡΡΠΈΠΎΡΠ΅Π²ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π½ΡΡΡ ΠΈ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π»ΠΎΠΏΠ°ΡΠΎΠΊ ΡΡΡΠ±ΠΈΠ½. ΠΠ΄Π΅ΡΡ ΠΏΡΠ°Π²ΡΡ Π±Π°Π» ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΠΎΠ΄Π΅ Mazak, DMG Mori ΠΈ Haas Π² ΠΈΡ ΡΠΎΠΏΠΎΠ²ΡΡ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠΊΠ°Ρ .
ΠΡΠΎΠ±Π½ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΡΠΎΡΡ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π°Π²ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ΅Π·Π΅ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ±Π»ΠΎΡΠ½ΡΡ Π»ΠΎΠΏΠ°ΡΠΎΠΊ ΠΈΠ· ΡΠΈΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΡ 10 Π΄ΠΎ 20 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ»Π»Π°ΡΠΎΠ². ΠΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π½ΠΈΠ½Ρ ΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π²ΠΈΠ±ΡΠ°ΡΠΈΠΉ.
ΠΠ°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΏΠΈΠ½Π΄Π΅Π»Ρ. Π Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΡΡ ΠΎΠ½ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π΄ΠΎ 80 000 ΠΎΠ±ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ² Π² ΠΌΠΈΠ½ΡΡΡ, ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΡ Π±ΠΈΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½. ΠΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ·Π»Π° ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ»Π°.
ΠΠ°Π±Π°ΡΠΈΡΡ ΡΡΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π²ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ»ΡΡΡ. ΠΠ΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ ΡΠ΅Π»ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π° ΠΈ Π²Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΡΠ½ΠΈ ΡΠΎΠ½Π½. Π’ΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ β ΡΡΠΎ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½Π°Ρ Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΡ, ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡΠ°Ρ ΡΠ°Π·Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½Ρ Π½Π° ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΈ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π»ΠΎΠ².
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π½Ρ
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ΠΆΠ΅ ΡΠ΅Π½Π° Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅Ρ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ Π°ΡΡΡΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΡ? ΠΡΠ΅ Π΄Π΅Π»ΠΎ Π² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠ°Ρ , ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π°Ρ . ΠΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π΄Π»Ρ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΎΠ² ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΉ Zeiss, ΠΈ Π½Π° ΡΠ±ΠΎΡΠΊΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΌΠ΅ΡΡΡΠ΅Π² ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ.
Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΈΠ»ΠΈ CNC-ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Π»Π΅ΡΡ, Π² ΡΠΎΠΏΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΡ Π² ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°ΡΡΡΠ΅. ΠΠ½ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅ΡΠ°Π±Π°ΠΉΡΡ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ Π² ΡΠ΅ΠΊΡΠ½Π΄Ρ, ΠΊΠΎΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΡΡ ΡΡΠ°Π΅ΠΊΡΠΎΡΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π² ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ. ΠΠ°Π΄Π΅ΡΠΆΠΊΠ° Π² ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΡΠ΅ΠΊΡΠ½Π΄Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ Π±ΡΠ°ΠΊΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ Π² ΡΡΡΡΡΠΈ Π΄ΠΎΠ»Π»Π°ΡΠΎΠ².
ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ, ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π° ΡΡΠ°Π½ΠΈΠ½Π°, ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠ³ΡΠ°ΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ. Π§Π°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠ΄ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΈΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ. ΠΡΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ Π½Π° ΠΏΡΠΎΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΈΠΊΠ»Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ.
Π‘Π΅ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ
Π Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ°Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΎΠ·Π΅ΠΌΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ², Π΄ΠΎΠ±ΡΡΠ° ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ ΠΊΠ²ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ.
Π‘ΡΠ°Π²Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ° Π»ΠΈΠ΄Π΅ΡΠΎΠ² ΡΡΠ½ΠΊΠ°
ΠΠ»Ρ Π½Π°Π³Π»ΡΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠ°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅Π½Π° ΡΠ°ΡΡΠΎ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΈΠ³ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°.
| Π’ΠΈΠΏ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ° | ΠΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Ρ | ΠΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅Π½Π° (ΠΌΠ»Π½ $) | ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ |
|---|---|---|---|
| EUV ΠΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°Ρ | ASML | 150 - 170 | ΠΠΈΠΊΡΠΎΡΠΈΠΏΡ |
| 5-ΠΎΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΠ΅Π½ΡΡ | DMG Mori | 2 - 5 | ΠΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΌΠΎΡ |
| ΠΡΠ±ΠΎΡΠ΅Π·Π½ΡΠΉ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠΊ | Gleason | 1.5 - 3 | Π’ΡΠ°Π½ΡΠΌΠΈΡΡΠΈΠΈ |
| ΠΠ°Π·Π΅ΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡ | Trumpf | 3 - 6 | Π Π΅Π·ΠΊΠ° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° |
ΠΠ°ΠΊ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΡ, ΡΠ°Π·ΡΡΠ² ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π»ΠΈΠ΄Π΅ΡΠΎΠΌ ΠΈ ΠΎΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠ°ΡΡΠ½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΡΡΠ½ΠΊΠ° ΠΊΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ°Π»Π΅Π½. ASML ΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΏΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΌ ΡΠ΅Π³ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π΄ΠΈΠΊΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅Π½Ρ.
ΠΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ»ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅
ΠΠΎΠΊΡΠΏΠΊΠ° ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ° β ΡΡΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΎ ΡΠ°ΡΡ ΠΎΠ΄ΠΎΠ². Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΊΠ²Π°Π»ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΡΠΎΠ½Π°Π»Π° ΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΡΡ Π·Π°ΡΡΠ°Ρ. ΠΠ»Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Ρ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠ°ΠΌΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡΡΡ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΡ ΡΠΎΠΌ ΠΈ ΠΎΠΏΡΡΠΎΠΌ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 5 Π»Π΅Ρ.
Π Π°ΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ. ΠΠ°Π·Ρ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ, ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΡ, ΡΠ΅ΠΆΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΈΠ· ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠ° ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° β Π²ΡΠ΅ ΡΡΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π·Π°ΠΊΡΠΏΠ°ΡΡ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎ. ΠΡΠΎΡΡΠΎΠΉ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΡΠΎΠΈΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½Ρ Π΄ΠΎΠ»Π»Π°ΡΠΎΠ² ΡΠ±ΡΡΠΊΠ° Π² ΡΠ°Ρ.
β οΈ ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠΠΎΠΏΡΡΠΊΠ° ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ° ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π±Π»ΠΎΠΊΠΎΠ² EUV-ΡΡΠ°Π½ΠΊΠΎΠ² Π±Π΅Π· ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ ΠΊ Π½Π΅ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠΈΠΌΠΎΠΌΡ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ Π»ΠΈΠ½Π· ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠ΅ Π³Π°ΡΠ°Π½ΡΠΈΠΈ.
Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π²Π΅Π½ΡΠΈΠ»ΡΡΠΈΠΈ ΠΈ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π° Π² ΡΠ΅Ρ Π°Ρ , Π³Π΄Π΅ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Ρ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½Ρ, Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ°ΠΌ ΡΠΈΡΡΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠ° ISO 1. ΠΠ°ΠΆΠ΅ ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΏΡΠ»ΠΈΠ½ΠΊΠ°, ΠΏΠΎΠΏΠ°Π²ΡΠ°Ρ Π½Π° Π»ΠΈΠ½Π·Ρ ΠΈΠ»ΠΈ, ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΡΡΠΈΡΡ Π²ΡΡ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΈΠΈ.
βοΈ ΠΡΠΈΡΠ΅ΡΠΈΠΈ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ° ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ°
ΠΡΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ
ΠΠ½Π΄ΡΡΡΡΠΈΡ Π½Π΅ ΡΡΠΎΠΈΡ Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅. Π£ΠΆΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠΈ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Ρ Π½ΠΎΡΠΌΠ°ΠΌΠΈ 3 Π½ΠΌ ΠΈ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ Π΅ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠΈ.
ΠΠ½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡΠΊΡΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π»Π»Π΅ΠΊΡΠ° Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΌΠΊΠΈ. ΠΠ°ΡΠΈΠ½Ρ ΡΡΠ°ΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π² ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ, ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅.
ΠΠΆΠΈΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΎΠ², ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΊ High-NA EUV, ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠΈΡ 300 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ»Π»Π°ΡΠΎΠ². ΠΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π²Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ Π² ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»Ρ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΈΠΌΡΠΌ Π΄Π»Ρ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΈΠ³ΡΠΎΠΊΠΎΠ².
ΠΠ»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΌΠΈΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΠΊΡ
ΠΠ°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ° ΠΊ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΌΡ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠΌΡ ΡΡΠ°Π½ΠΊΡ Π² ΠΌΠΈΡΠ΅ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠ΅Ρ ΡΡΡΠ°Π½Ρ. ΠΠΎΡΡΠ΄Π°ΡΡΡΠ²Π°, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠΌΠΈ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΡΡΠ°ΡΠ΅Π³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, Π²ΠΎΠΎΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ.
Π‘Π°Π½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΠΊΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠ°ΠΏΡΠ΅Ρ Π½Π° ΡΠΊΡΠΏΠΎΡΡ EUV-Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΎΠ² Π² ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΈΠΎΠ½Ρ ΠΌΠΈΡΠ° ΠΊΠ°ΡΠ΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅Ρ ΡΠ°ΡΠΊΠ»Π°Π΄ ΡΠΈΠ» Π² Π³Π»ΠΎΠ±Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΠΊΠ΅.
Π Π°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΡΡ ΡΡΡΠ°Π½. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π²ΠΎΡΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ ΡΠ΅ΠΏΠΎΡΠΊΡ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΠΎΠΊ ΠΈ Π½Π°ΠΊΠΎΠΏΠΈΡΡ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΡΠΈΠ·Ρ Π·Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΊΠΈΠΉ ΡΡΠΎΠΊ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ.
ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
Π‘Π°ΠΌΡΠΉ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠΊ Π² ΠΌΠΈΡΠ΅ β ΡΡΠΎ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½Π°, Π° ΠΊΠ²ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΡ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π·Π½Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡΠΊΡΡΡΡΠ²Π°. Whether it is the ASML NXE or a massive turbine mill, these machines drive progress.
Π‘ΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Π² ΡΠΎΡΠ½ΠΈ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ»Π»Π°ΡΠΎΠ² ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°Π΅Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π·Π°Π΄Π°Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΎΠ½ΠΈ ΡΠ΅ΡΠ°ΡΡ. ΠΠ΅Π· Π½ΠΈΡ Π±ΡΠ» Π±Ρ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ΅Π½ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΡ, ΡΠΌΠ°ΡΡΡΠΎΠ½Ρ, ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ½Π΅Ρ Π²Π΅ΡΠ΅ΠΉ ΠΈ Π°Π²ΡΠΎΠ½ΠΎΠΌΠ½ΡΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ.
ΠΠ½Π²Π΅ΡΡΠΈΡΠΈΠΈ Π² ΡΡΡ ΡΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°ΡΡΡΡ, ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π» ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ Π΅ΡΠ΅ Π½Π΅ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π½ΡΡ. ΠΡΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ Π·Π° Π΅ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ, Π±ΡΡΡΡΡΠΌΠΈ ΠΈ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π»Π»Π΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°ΠΌΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π±ΡΠ΄ΡΡ ΡΡΠΎΠΈΡΡ Π΅ΡΠ΅ Π΄ΠΎΡΠΎΠΆΠ΅.
ΠΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°ΠΊΡ
ΠΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ EUV-ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ° ΠΏΡΠΈ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 100 ΡΠΎΠ½Π½, ΠΈ Π΄Π»Ρ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π²ΠΎΠ·ΠΊΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 20 Π³ΡΡΠ·ΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΉΠ½Π΅ΡΠΎΠ².
ΠΠΎΡΠ΅ΠΌΡ ASML ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΡΠΎΠΌ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ EUV-ΡΡΠ°Π½ΠΊΠΎΠ²?
ΠΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠΌΠΎΠ³Π»Π° ΠΎΠ±ΡΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠ΅Π½ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΡΠΈΠΊΠΎΠ² ΡΠΎ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΌΠΈΡΠ°, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π² ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΊΠΎΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ. ΠΠΈ ΠΎΠ΄Π½Π° Π΄ΡΡΠ³Π°Ρ ΡΠΈΡΠΌΠ° Π½Π΅ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠΌ Π½Π°Π±ΠΎΡΠΎΠΌ ΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ.
Π‘ΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠ°?
ΠΠΎΠ½ΡΠ°ΠΆ ΠΈ Π½Π°Π»Π°Π΄ΠΊΠ° EUV-Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠ° Π½Π° Π·Π°Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΠΊΠ»ΠΈΠ΅Π½ΡΠ° Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ ΠΎΡ 3 Π΄ΠΎ 6 ΠΌΠ΅ΡΡΡΠ΅Π². Π ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΡΠ°ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΊΠΎΠΌΠ°Π½Π΄Π° ΠΈΠ· Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠΎΠ² Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΊΠ²Π°Π»ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠΎΠ².
ΠΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»ΠΈ ΠΊΡΠΏΠΈΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠΊ ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΠΌΡ Π»ΠΈΡΡ?
Π’Π΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π΄Π°, Π΅ΡΠ»ΠΈ Ρ Π²Π°Ρ Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π° ΠΈ ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π½Π° ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΊΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΄Π°ΠΆΠΈ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΡΠΌ ΠΊΠΎΡΠΏΠΎΡΠ°ΡΠΈΡΠΌ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Ρ.